半导体微纳加工与测试 YPL-NIL-SL400的优势
体现在哪些方面
LU回复:PMG· 4年前
1. 4英寸的载物台可以放置不同形状的衬底；
2. 温度及压力范围完全满足压印需求；
3. 真空室设计保证洁净的压印环境；
4. 多种固化方式丰富了科研手段；
5. 水冷系统比风冷系统带来更快的冷却速度；
6. 自动找平装置保证了压印的均匀性；
7. 自动化设计大大提高了压印效率；
8. 独特载样设计解决了 旋转载样容易导致的模板偏离问题；
9. 压力缓冲系统及模板保护装置能有效降低摸板损坏的几率
10. 可定制更大尺寸纳米压印设备。
