半导体微纳加工与测试    YPL-NIL-SL400的优势

体现在哪些方面

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LU回复:PMG· 3个月前

1. 4英寸的载物台可以放置不同形状的衬底;

2. 温度及压力范围完全满足压印需求;

3. 真空室设计保证洁净的压印环境;

4. 多种固化方式丰富了科研手段;

5. 水冷系统比风冷系统带来更快的冷却速度;

6. 自动找平装置保证了压印的均匀性;

7. 自动化设计大大提高了压印效率;

8. 独特载样设计解决了 旋转载样容易导致的模板偏离问题;

9. 压力缓冲系统及模板保护装置能有效降低摸板损坏的几率

10. 可定制更大尺寸纳米压印设备。


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