半导体微纳加工与测试    纳米转印成功的关键是什么
作者:PMG 最后由 LU 回复于 4年前 评论:1 点击量:4935

关键

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LU回复:PMG· 4年前

是衬底材料的表面能大于印模材料的表面能，保证脱模时压印层能顺利脱离印模，但牢固黏附到衬底上。不同材料有不同的表面处理方法来改变表面能。以石英印模与硅衬底为例，石英表面可以经过苯乙基三氯硅烷PETS的表面处理降低其表面能。


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