半导体微纳加工与测试 空白光学掩膜的优点
制作透明印模最显而易见的底板材料是空白光学掩膜
LU回复:PMG· 4年前
1. 掩膜一般是由熔融石英材料做成的，对紫外光有高透明度；
2. 空白光学掩膜已经有一层金属铬薄膜。铬膜一方面可以在电子束曝光时防止石英衬底表面积累电荷，另一方面，经过图形化的铬膜可以直接作为刻蚀石英衬底的掩膜层；
3. 光学掩膜的制作工艺已经非常成熟，包括石英刻蚀。相同的技术可以借用来制作石英刻蚀。
制作透明印模最显而易见的底板材料是空白光学掩膜
1. 掩膜一般是由熔融石英材料做成的，对紫外光有高透明度；
2. 空白光学掩膜已经有一层金属铬薄膜。铬膜一方面可以在电子束曝光时防止石英衬底表面积累电荷，另一方面，经过图形化的铬膜可以直接作为刻蚀石英衬底的掩膜层；
3. 光学掩膜的制作工艺已经非常成熟，包括石英刻蚀。相同的技术可以借用来制作石英刻蚀。
