微纳知否--离子束曝光的优缺点

半导体微纳加工与测试离子束曝光的优缺点

作者:PMG 最后由 LU 回复于 4年前评论:1 点击量:9279

与电子束相比

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LU回复:PMG· 4年前

优点是高灵敏度和无邻近效应，缺点是曝光深度浅和镓离子注入问题。

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