半导体微纳加工与测试 XRD，XEDS和HRXRD 的区别
有没有人知道这三者的区别，有购买意向
千山暮雪-1回复:18116142901· 3年前
XRD: X-ray Diffraction，X射线衍射。主要是利用晶体的晶格间距当作光栅对x射线造成产生衍射，从衍射图谱可以推断出晶体中各个晶格之间的间距，从而进一步推断出晶体结构，晶胞尺寸，结合其他信息可以推断材料的成分。
XEDS：X-ray Energy Dispersion Spectrum，一般简称EDS或者EDX, 不知道怎么翻译。原理是当原子中的内层电子被高能的电子束，质子束或者X光激发而逃逸后，外层电子会落入能量较低的空内层轨道，这个过程会同时释放出一个光子，其能量等于内外层电子的能量差值。通常，这个光子的能量会小于激发源的能量，不过经常还是属于X光的范围。可以通过光子的能量来判断样品中的元素成分。
二者在应用上的差别主要在于XRD用于测量晶体结构信息，EDS则用来获取成分信息。通常对一个材料的表征可以采用两种方法结合的手段，可以得到相对完整的结果。
XRD 和 HRXRD 的区别在于XRD是普通的衍射仪，HRXRD是高分辨率衍射仪，测量精度后者更高。其实都差不多，加了4-bounce monochromator, gobel mirror, triple-axis analytical crystal等限束平行单色装置，所以色散很小，准直度高，但是强度削弱很厉害。适合分析单晶薄膜等，衍射峰的峰宽有仪器的贡献和样品的贡献两部分组成，高分辨就是仪器的峰宽非常小。高分辨可看到普通XRD看不到的峰的劈裂。
hr12121097回复:千山暮雪-1· 3年前
广角XRD 和 小角XRD 的区别是什么
千山暮雪-1回复:hr12121097· 3年前
广角 3- 80
小角 0-3
