膜厚测试

主要用于薄膜材料厚度测量。可获得精确定量的台阶高度,线粗糙度,薄膜曲率半径,应力测试,表面3D形貌等测试功能。

Bruker 膜厚仪

2020-05-20 17:52:53 hr12121097


主要参数:

厂家:Bruker(德国)

型号:DektakXT

主要参数:

最大扫描长度≥55mm

测试所允许的最大样品厚度≥50mm

垂直方向的扫描范围≥1000μm

测试高度方向的重复性≤0.4nm(1μm的标准台阶)

测试垂直分辨率≤0.1nm

 

用途及功能

主要用于薄膜材料厚度测量。可获得精确定量的台阶高度,线粗糙度,薄膜曲率半径,应力测试,表面3D形貌等测试功能。


折射率数据库 – 用于薄膜厚度测量的折射率表

参考链接:http://www.filmetrics.cn/refractive-index-database


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