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正型光刻胶与负型光刻胶的比较 发表于2020-08-12 03:43:25 回复:PMG
正性光刻胶除图形分辨率高而适应于微细图形的掩膜外,它还具有图形边缘陡直, 去胶容易等独特性能,比负性光刻胶更有利于金属剥离工艺。
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