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如何判断AFM探针导不导电? 发表于2020-08-14 07:51:24 回复:MWW

看针尖材质。一般导电探针是在普通探针的针尖镀一层金属,如:Au、Pt、TiN等。一般使用时导电镀层容易脱落,导电性难以长期保持。导电针尖的新产品有碳纳米管针尖,金刚石镀层针尖,全金刚石针尖等,这类针尖比普通导电针尖的寿命长分辨率高。



探针悬臂有无金属镀层的区别是什么? 发表于2020-08-14 07:51:24 回复:MWW

悬臂金属镀层的作用:增强反射面。通过镜面反射效应来确定针尖的位置。常见的反射面镀层为Al和Au。



AFM探针应该如何保存? 发表于2020-08-14 07:51:24 回复:MWW

建议放在干燥箱里面。避免潮湿的坏境。



离子束曝光的优缺点 发表于2020-08-12 03:43:25 回复:PMG

优点是高灵敏度和无邻近效应,缺点是曝光深度浅和镓离子注入问题。



空白光学掩膜的优点 发表于2020-08-12 03:43:25 回复:PMG

1. 掩膜一般是由熔融石英材料做成的,对紫外光有高透明度;

2. 空白光学掩膜已经有一层金属铬薄膜。铬膜一方面可以在电子束曝光时防止石英衬底表面积累电荷,另一方面,经过图形化的铬膜可以直接作为刻蚀石英衬底的掩膜层;

3. 光学掩膜的制作工艺已经非常成熟,包括石英刻蚀。相同的技术可以借用来制作石英刻蚀。



纳米转印成功的关键是什么 发表于2020-08-12 03:43:25 回复:PMG

是衬底材料的表面能大于印模材料的表面能,保证脱模时压印层能顺利脱离印模,但牢固黏附到衬底上。不同材料有不同的表面处理方法来改变表面能。以石英印模与硅衬底为例,石英表面可以经过苯乙基三氯硅烷PETS的表面处理降低其表面能。



纳米转移技术 发表于2020-08-12 03:43:25 回复:PMG

先将有机聚合物材料涂覆到印模上,待压印材料均匀填充印模浮雕图形表面后,再将印模压到一个平面衬底上。移开印模,使印模上的压印结构转移到平面衬底上。转移的方式有两种,一种是针对非紫外固化有机聚合物材料(PMMSPS),可以通过热压转移,一种是针对紫外固化材料或负型光刻胶,可通过紫外光照固化转移。如果印模蚀非透明材料制作的,如硅或镍,可利用透明衬底。



正型光刻胶与负型光刻胶的比较 发表于2020-08-12 03:43:25 回复:PMG

对于同样的电路图形的光学曝光,即可用正型光刻胶来实现,也可用负型光刻胶来实现,只是掩模不同。如图,对于一条单线的曝光,如果用负型光刻胶,要采用亮场掩膜,即掩膜的大部分区域都是透光的;如果用正型光刻胶,用暗场掩膜,即掩膜的大部分区域都是不透光的。反过来,只要选择不同的掩膜形式,所有的曝光图形都可用一种胶来实现。例如,负型光刻胶与亮场掩膜的组合产生正型光刻胶的效果,正型光刻胶与亮场掩膜的组合产生负型光刻胶的效果。1.png



YPL-NIL-SL400的优势 发表于2020-08-12 03:43:25 回复:PMG

1. 4英寸的载物台可以放置不同形状的衬底;

2. 温度及压力范围完全满足压印需求;

3. 真空室设计保证洁净的压印环境;

4. 多种固化方式丰富了科研手段;

5. 水冷系统比风冷系统带来更快的冷却速度;

6. 自动找平装置保证了压印的均匀性;

7. 自动化设计大大提高了压印效率;

8. 独特载样设计解决了 旋转载样容易导致的模板偏离问题;

9. 压力缓冲系统及模板保护装置能有效降低摸板损坏的几率

10. 可定制更大尺寸纳米压印设备。




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