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空白光学掩膜的优点
PMG 回复:

1. 掩膜一般是由熔融石英材料做成的,对紫外光有高透明度;

2. 空白光学掩膜已经有一层金属铬薄膜。铬膜一方面可以在电子束曝光时防止石英衬底表面积累电荷,另一方面,经过图形化的铬膜可以直接作为刻蚀石英衬底的掩膜层;

3. 光学掩膜的制作工艺已经非常成熟,包括石英刻蚀。相同的技术可以借用来制作石英刻蚀。


纳米转印成功的关键是什么
PMG 回复:

是衬底材料的表面能大于印模材料的表面能,保证脱模时压印层能顺利脱离印模,但牢固黏附到衬底上。不同材料有不同的表面处理方法来改变表面能。以石英印模与硅衬底为例,石英表面可以经过苯乙基三氯硅烷PETS的表面处理降低其表面能。


纳米转移技术
PMG 回复:

先将有机聚合物材料涂覆到印模上,待压印材料均匀填充印模浮雕图形表面后,再将印模压到一个平面衬底上。移开印模,使印模上的压印结构转移到平面衬底上。转移的方式有两种,一种是针对非紫外固化有机聚合物材料(PMMSPS),可以通过热压转移,一种是针对紫外固化材料或负型光刻胶,可通过紫外光照固化转移。如果印模蚀非透明材料制作的,如硅或镍,可利用透明衬底。


正型光刻胶与负型光刻胶的比较
PMG 回复:

对于同样的电路图形的光学曝光,即可用正型光刻胶来实现,也可用负型光刻胶来实现,只是掩模不同。如图,对于一条单线的曝光,如果用负型光刻胶,要采用亮场掩膜,即掩膜的大部分区域都是透光的;如果用正型光刻胶,用暗场掩膜,即掩膜的大部分区域都是不透光的。反过来,只要选择不同的掩膜形式,所有的曝光图形都可用一种胶来实现。例如,负型光刻胶与亮场掩膜的组合产生正型光刻胶的效果,正型光刻胶与亮场掩膜的组合产生负型光刻胶的效果。1.png


YPL-NIL-SL400的优势
PMG 回复:

1. 4英寸的载物台可以放置不同形状的衬底;

2. 温度及压力范围完全满足压印需求;

3. 真空室设计保证洁净的压印环境;

4. 多种固化方式丰富了科研手段;

5. 水冷系统比风冷系统带来更快的冷却速度;

6. 自动找平装置保证了压印的均匀性;

7. 自动化设计大大提高了压印效率;

8. 独特载样设计解决了 旋转载样容易导致的模板偏离问题;

9. 压力缓冲系统及模板保护装置能有效降低摸板损坏的几率

10. 可定制更大尺寸纳米压印设备。


正型光刻胶与负型光刻胶的比较
PMG 回复:

正性光刻胶除图形分辨率高而适应于微细图形的掩膜外,它还具有图形边缘陡直, 去胶容易等独特性能,比负性光刻胶更有利于金属剥离工艺。

我要测疏水作用力,要在针尖修饰分子,我应该如何挑选AFM探针?
MWW 回复:

1. 测疏水作用力,属于液相,需要悬臂镀Au的探针。

2. 要在针尖修饰分子:需要探针针尖镀Au。

所以需要选择双面镀Au的探针。


对比传统拉伸、压缩试验技术,纳米压痕仪的优势
GU 回复:

传统拉伸只能做大尺寸的,相对宏观

XRD,XEDS和HRXRD 的区别
18116142901 回复:

XRD: X-ray Diffraction,X射线衍射。主要是利用晶体的晶格间距当作光栅对x射线造成产生衍射,从衍射图谱可以推断出晶体中各个晶格之间的间距,从而进一步推断出晶体结构,晶胞尺寸,结合其他信息可以推断材料的成分。

XEDS:X-ray Energy Dispersion Spectrum,一般简称EDS或者EDX, 不知道怎么翻译。原理是当原子中的内层电子被高能的电子束,质子束或者X光激发而逃逸后,外层电子会落入能量较低的空内层轨道,这个过程会同时释放出一个光子,其能量等于内外层电子的能量差值。通常,这个光子的能量会小于激发源的能量,不过经常还是属于X光的范围。可以通过光子的能量来判断样品中的元素成分。

二者在应用上的差别主要在于XRD用于测量晶体结构信息,EDS则用来获取成分信息。通常对一个材料的表征可以采用两种方法结合的手段,可以得到相对完整的结果。


XRD 和 HRXRD 的区别在于XRD是普通的衍射仪,HRXRD是高分辨率衍射仪,测量精度后者更高。其实都差不多,加了4-bounce monochromator, gobel mirror, triple-axis analytical crystal等限束平行单色装置,所以色散很小,准直度高,但是强度削弱很厉害。适合分析单晶薄膜等,衍射峰的峰宽有仪器的贡献和样品的贡献两部分组成,高分辨就是仪器的峰宽非常小。高分辨可看到普通XRD看不到的峰的劈裂。





XRD,XEDS和HRXRD 的区别
千山暮雪-1 回复:

广角XRD 和 小角XRD 的区别是什么


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